半導體晶圓溫度控制

全密閉式系統(tǒng)設計 自主開發(fā)溫度控制模塊 高效換熱系統(tǒng) 控制重復性 超高溫降溫技術

PTHC系列高低溫動態(tài)控溫系統(tǒng)主要由制冷系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷,壓縮機及主要制冷部件均采用國際知名品牌。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成??刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術,高清觸摸屏顯示,設有多項保護功能,確保設備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱,向外界輸送載熱流體,滿足工藝條件要求。

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型號

  • 制冷加熱方式
  • 溫度范圍
  • 流量控制范圍
  • 壓力控制范圍
  • 主要應用
  • 主要功能
  • 控溫模式
  • 控制系統(tǒng)
  • 壓縮機
  • 膨脹閥
  • 電磁閥
  • 蒸發(fā)器
  • 通信協(xié)議
  • 外部輸入
  • 配電功率
  • 冷卻形式
  • 外殼材質(zhì)
  • 選配連接管路

氣體冷卻機

  • 制冷:蒸汽壓縮式制冷,加熱:電加熱
  • -40°C~ 100℃(可按照要求定制)(空載)
  • 2L/min~150L/min
  • 0~6bar
  • 適用于新能源汽車動力電池充放電測試、熱學性能測試、驅(qū)動電機熱學性能測試、可靠性測試等
  • 配有壓力、溫度、流量傳感器,可實現(xiàn)控溫、控壓、控流量等功能。
  • 控制設備出口溫度
  • 7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示、記錄
  • 泰康全封閉活塞壓縮機,美國艾默生谷輪渦旋壓縮機
  • 丹佛斯/艾默生熱力膨脹閥
  • 卡士妥/艾默生/丹佛斯電磁閥
  • 丹佛斯/高力/寶得板式換熱器
  • CAN通信總線
  • 外置溫度傳感器端口、USB數(shù)據(jù)接口
  • 4.5kW ~80kW
  • 風冷型or水冷型(水冷型型號后綴“W”)
  • 靜電噴涂鍍鋅板/不銹鋼304
  • 金屬保溫管or氟膠管or硅膠管

產(chǎn)品推薦

制冷加熱的設備也就是化工行業(yè)常說的TCU系統(tǒng)。這個主要是采用了現(xiàn)有的能源(蒸汽、循壞水、冷凍水),把初級能源整合運用到一起進行對工藝設備的準確控溫的單流系統(tǒng)或者二級回路上去。冷熱一體控溫機介質(zhì)一直導熱介質(zhì)流到反應釜夾套去,而不是通過蒸汽、冷卻水、超低溫介質(zhì)直接對反應釜進行溫度控制,制冷加熱的設備是通過大數(shù)據(jù)運算整體反應所需要的溫度的過程來自動調(diào)節(jié)。

初級能源應用
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在車規(guī)級芯片可靠性測試方面,上海普泰克高低溫測試機有著不同于傳統(tǒng)高低溫沖擊試驗箱獨特優(yōu)勢: 變溫速率快,每秒快速升溫/降溫18℃實時監(jiān)測待測元件真實溫度,亦可隨時調(diào)整沖擊氣流溫度,可針對 PCB 電路板上眾多元器件中的某一單個IC,單獨進行高低溫沖擊,而不影響周邊其它器件

汽車芯片高溫測試
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主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。加熱循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。冷卻系統(tǒng)包括油水換熱器、油油換熱器(部分設備)、冷卻水電磁閥、高溫電磁閥等組成??刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術,高清觸摸屏顯示,設有多項保護功能,確保設備安全運行。通過機組自身的加熱與冷卻,向外界輸送載熱流體,滿足工藝條件要求。

探針臺高低溫控系統(tǒng)
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反應釜溫控系統(tǒng)可以用于控制化學合成反應的溫度。通過精確的溫度控制,可以調(diào)節(jié)反應速率、選擇性和產(chǎn)物純度,提高合成反應的效率和產(chǎn)量。普泰克的反應釜溫控系統(tǒng)適用于:夾套反應釜、微通道反應器、反應裝置、組合化學等冷熱源動態(tài)恒溫控制以及制藥行業(yè)中的低溫蒸餾、精餾、萃取等設備中。

超高溫反應釜配套
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