氣體制冷晶圓測(cè)試
主要由制冷系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷,壓縮機(jī)及主要制冷部件均采用國(guó)際知名品牌。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、蓄冷容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成。控制系統(tǒng)采用PID控制技術(shù),高清觸摸屏顯示,設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能,確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過(guò)機(jī)組自身的制冷與加熱,向外界輸送載熱流體,滿(mǎn)足工藝條件要求。
全密閉系統(tǒng):采用全密閉式系統(tǒng)設(shè)計(jì),整個(gè)循環(huán)管路只有加液蓋上留出的呼吸孔,載冷介質(zhì)不會(huì)直接與空氣接觸,延長(zhǎng)了介質(zhì)使用壽命同時(shí)確保系統(tǒng)運(yùn)行的穩(wěn)定性。
高效換熱系統(tǒng):制冷采用板式換熱器,換熱效率高、結(jié)構(gòu)緊湊。
控制結(jié)果重復(fù)性:基于高級(jí)動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng),每次都能實(shí)現(xiàn)一致的控制結(jié)果,大大提升產(chǎn)品生產(chǎn)的穩(wěn)定性。
產(chǎn)品外觀(guān):外觀(guān)設(shè)計(jì)吸取國(guó)外進(jìn)口產(chǎn)品的設(shè)計(jì)理念,采用大口徑石英玻璃液位計(jì),液位計(jì)與操作屏放在同一側(cè),觀(guān)察方便,風(fēng)格簡(jiǎn)約時(shí)尚,比列協(xié)調(diào),專(zhuān)有的色彩搭配。
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