液體冷卻器
PTLQ系列氣體制冷機主要由制冷系統(tǒng)、換熱系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷
PTLQ系列氣體制冷機主要由制冷系統(tǒng)、換熱系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷
應(yīng)用于晶圓測試載物臺、chuck的加熱及制冷,采用硅油或氟化液循環(huán)精準(zhǔn)控溫±0.1℃,液冷機主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。通過機組自身的加熱與冷卻,向外界輸送載熱流體,滿足工藝條件。
PTLD系列低溫冷凍機主要由制冷系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷,壓縮機及主要制冷部件均采用國際知名品牌。
半導(dǎo)體熱電制冷器又叫做:半導(dǎo)體式冷水機、半導(dǎo)體溫控臺、精密半導(dǎo)體冷卻器,該系統(tǒng)由半導(dǎo)體制冷系統(tǒng)、循環(huán)水冷系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)及測量治具載臺等裝置組成。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置,CMP實驗室精密裝置、高精度測試儀器等等
普泰克TCU溫控單元PTCU系列探索和利用現(xiàn)有的各種主要能源,如:如熱油,蒸汽,冷凍鹽水和冷油等,應(yīng)用于攪拌罐、化學(xué)、制藥、生物反應(yīng)器、材料測試研究、生產(chǎn)的溫度控制,一臺TCU溫控單元系統(tǒng),可實現(xiàn)多臺反應(yīng)釜不同工藝的控溫需求。目的在于集成已有的系統(tǒng),并充分利用已有的初級能源。
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