液冷制冷機

應用于晶圓測試載物臺、chuck的加熱及制冷,采用硅油或氟化液循環(huán)精準控溫±0.1℃,液冷機主要由加熱循環(huán)系統、冷卻系統、控制系統、箱體等組成。通過機組自身的加熱與冷卻,向外界輸送載熱流體,滿足工藝條件。

設備控溫范圍:-80℃~200℃
Chuck盤面控制溫度:-60℃
溫度穩(wěn)定性:±0.1℃
制冷系統:采用雙極壓縮制冷系統
定制:可按要求定制-60℃液冷制冷機

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型號

  • 設備名稱
  • 制冷方式
  • 操作面板
  • 載冷劑
  • 全密閉系統
  • 介質溫度范圍
  • 溫度精度
  • 溫度反饋
  • 控溫對象
  • 顯示分辨率
  • 通信協議
  • 外部輸入
  • 存儲功能
  • 冷凝方式
  • 安全防護

液冷制冷機

  • PTHC系列低溫液冷機
  • 雙級復疊制冷
  • 7英寸彩色觸摸屏,中文顯示,操作簡便 、顯示直觀, 可顯示 、記錄 溫度曲線和測試數據
  • 氟化液或硅油
  • 管道材質:SUS304,采用全密閉式結構設計
  • -80℃ ~ 200℃
  • 出口溫度±0.1 ℃
  • 設備導熱介質溫度反饋PT100 (回口溫度 、 出口溫度) ,控晶圓測試chuck盤溫度
  • 設備導熱介質出口溫度 (可選擇控制物料溫度)
  • 0.01K
  • MODBUS RTU協議、RS 485接口+以太網接口
  • 外置測溫傳感器端口 、USB數據接口
  • 試驗執(zhí)行時, 可實時顯示圖形曲線, 顯示內容;溫度設定實際值,執(zhí) 行程序周期,程序執(zhí)行中具有跳文件,保持功能。
  • 風冷
  • 設備運行狀態(tài)實時顯示,故障信息自動診斷,多項報警保護

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