液冷制冷機
應用于晶圓測試載物臺、chuck的加熱及制冷,采用硅油或氟化液循環(huán)精準控溫±0.1℃,液冷機主要由加熱循環(huán)系統、冷卻系統、控制系統、箱體等組成。通過機組自身的加熱與冷卻,向外界輸送載熱流體,滿足工藝條件。
應用于晶圓測試載物臺、chuck的加熱及制冷,采用硅油或氟化液循環(huán)精準控溫±0.1℃,液冷機主要由加熱循環(huán)系統、冷卻系統、控制系統、箱體等組成。通過機組自身的加熱與冷卻,向外界輸送載熱流體,滿足工藝條件。
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制冷加熱的設備也就是化工行業(yè)常說的TCU系統。這個主要是采用了現有的能源(蒸汽、循壞水、冷凍水),把初級能源整合運用到一起進行對工藝設備的準確控溫的單流系統或者二級回路上去。冷熱一體控溫機介質一直導熱介質流到反應釜夾套去,而不是通過蒸汽、冷卻水、超低溫介質直接對反應釜進行溫度控制,制冷加熱的設備是通過大數據運算整體反應所需要的溫度的過程來自動調節(jié)。
采用現有的熱能(如蒸汽、冷卻水及超低溫液體等)集成到用來控制工藝設備溫度的單流體系統或二級回路中,構成單熱傳導液體在反應容器夾套中的非接觸式溫度控制系統
TCU機組是一種專門設計用于實現精準溫度控制的設備。它在許多工業(yè)領域中被廣泛應用,包括化學制藥、食品加工、塑料注塑和實驗室等。
隨著半導體元器件行業(yè)的發(fā)展,各種電子元器件在各種復雜環(huán)境下的性能測試顯得突出,高低溫測試機作為一種專門用于模擬和測試電子元器件在各種環(huán)境下的性能的設備。
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