熱控卡盤、平板

熱控卡盤平板又叫控溫卡盤、控溫平板、快速溫變卡盤、高低溫控溫卡盤,該設備系統(tǒng)自身帶制冷系統(tǒng),避免了液氮、二氧化碳的消耗,提供了一個精確可控的溫度平臺,可以快速加熱、冷卻或保持溫度,

熱控卡盤的加熱時間和熱均衡時間比任何基于水或空氣的系統(tǒng)都要快得多,是測試具有平坦表面并且結構扁平器件的理想方式,比如射頻組件和高功率密度器件 (IGBT或MOSFET等)
采用制冷劑直接蒸發(fā)的制冷方式,大幅提升了換熱效率。

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名稱

  • 設備名稱
  • 有效溫度范圍
  • 控溫精度
  • 卡盤尺寸
  • 表面平整度
  • 降溫速率

參數

  • 熱控卡盤、平板
  • -75℃~225℃
  • ±0.1℃
  • 直徑:100mm、150mm、200mm、300mm
  • ±50um
  • +220°C to +25°C: 2 min;+25°C to -60°C: 6 min

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