Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列產(chǎn)品，可實現(xiàn)對設(shè)備出口溫度的精準(zhǔn)控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、高端醫(yī)療和精密實驗室溫控方案。主要部件均采用國際知名品牌，產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、板式換熱器、水箱、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運行。通過機(jī)組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

Chiller高精度冷熱循環(huán)器PTS系列產(chǎn)品，可實現(xiàn)對設(shè)備出口溫度的精準(zhǔn)控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、高端醫(yī)療和精密實驗室溫控方案。全系列采用全直流變頻壓縮機(jī)，磁力耦合泵，電子膨脹閥節(jié)流裝置，西門子控制器，壓縮機(jī)及主要制冷部件均采用國際知名品牌，產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運行。通過機(jī)組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

PTZL系列直冷型制冷機(jī)適用于真空涂覆冷阱、半導(dǎo)體芯片測試、熱沉試驗、低溫液浴，氣體捕集、藥品凍干等多種用途。設(shè)備內(nèi)不含蒸發(fā)器，通過外部連接管路，將低溫低壓液體制冷劑輸送到客戶負(fù)載（蒸發(fā)器）內(nèi)。制冷劑在蒸發(fā)器內(nèi)蒸發(fā)吸熱，快速帶走負(fù)載熱量后到達(dá)目標(biāo)低溫。直冷型制冷機(jī)采用制冷劑直接蒸發(fā)，降溫方式為相變制冷，與液冷的溫差降溫相比，降溫速度快，能效高，設(shè)備無循環(huán)系統(tǒng)后，外形尺寸更緊湊。

給芯片 、模塊 、集成電路板、電子元器件等提供精確且快速的環(huán)境溫度。替代液氮為局部熱源提供快速降溫。產(chǎn)品電性能 、 可靠性 、老化等測試提供冷源