DLS系列低溫冷水機主要由制冷系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷，壓縮機及主要制冷部件均采用國際知名品牌，性能穩(wěn)定優(yōu)異出水溫度，控溫精度可達±0.1℃，可選配組件實現(xiàn)多路輸出、多路負載，節(jié)能環(huán)保，操作簡單。 且可實現(xiàn)過熱、過載、缺水等多重報警功能，遠程控制方便，可實現(xiàn)I/O、RS232、RS485等多種不同通訊方式控制

-135℃~+225℃,可以滿足不同溫度的需求，可非標定制； 可選配精確控溫形式，控溫精度最高可達±0.1℃; 采用高效換熱器，降溫速度快，常溫至-80℃最快只需5分鐘； 可選配冷量回收裝置，提升能效，避免低溫冷凝水。 可選配進氣流量自動控制與檢測

主要用于半導(dǎo)體制程中對多路反應(yīng)腔室的精準控溫，裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構(gòu)成，采用先進的控制算法，提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應(yīng)速度。 在帶負載的情況下控溫精度可達±0.5℃，可在-20℃~85℃之間任意控溫，有良好的溫度穩(wěn)定性。

又叫做：接觸式高低溫設(shè)備、接觸式局部快速溫變儀、接觸式芯片高低溫測試設(shè)備，通過測試頭與待測器件直接貼合的方式實現(xiàn)能量傳遞，與傳統(tǒng)氣流式高低溫設(shè)備（熱流儀、溫箱等）相比具有升降溫效率高，操作簡單方便，體積小巧，噪音低等特點。