通過機組自身的高效換熱系統(tǒng)，將進入裝置內(nèi)的干燥氣體(如氮氣，氬氣或空氣)從環(huán)境溫度冷卻到低溫恒溫狀態(tài)， 設備出來的氣體即可達到目標低溫溫度。

PTZL系列直冷型制冷機適用于真空涂覆冷阱、半導體芯片測試、熱沉試驗、低溫液浴，氣體捕集、藥品凍干等多種用途。

Chiller高精度冷熱循環(huán)器,控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應用于半導體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領域，激光、高端醫(yī)療和精密實驗室溫控方案。

Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列產(chǎn)品,控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應用于半導體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領域，激光、高端醫(yī)療和精密實驗室溫控方案。

TLS精密冷水機：使用溫度范圍：5~85℃，配有加熱器，屬于制冷加熱一體機。本產(chǎn)品適用于半導體制造裝置、分析檢測裝置等發(fā)熱部分的冷卻及溫度的控制。

SMART系列產(chǎn)品是專門為實驗室應用開發(fā)的一款小型高低溫動態(tài)控溫系統(tǒng)。適用于對玻璃反應釜、金屬反應釜、生物反應器等進行升降溫、恒溫控制，材料測試。