溫度控制的精度可達(dá)目標(biāo)溫度±0.01℃，此設(shè)備可滿足制程環(huán)境更精準(zhǔn)的溫控需求，確保產(chǎn)線環(huán)境的穩(wěn)定性及產(chǎn)品的良率。

化學(xué)藥液（BHF,DHF藥液等）精密溫控器是專門針對(duì) DHF（Dilute Hydrofluoric Acid，稀氫氟酸）藥液設(shè)計(jì)研發(fā)的一種能夠?qū)崿F(xiàn)高精度溫度控制的設(shè)備。