TLS精密冷水機：使用溫度范圍：5~85℃，配有加熱器，屬于制冷加熱一體機。型號按加熱功率命名，加熱功率在1.5~25kW之間。精密冷水機可以滿足精確控溫的需求，也可以根據(jù)客戶要求選配流量計和壓力傳感器。本產(chǎn)品適用于半導體制造裝置、分析檢測裝置等發(fā)熱部分的冷卻及溫度的控制。

Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列產(chǎn)品，可實現(xiàn)對設備出口溫度的精準控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應用于半導體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領域，激光、高端醫(yī)療和精密實驗室溫控方案。主要部件均采用國際知名品牌，產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、板式換熱器、水箱、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成。控制系統(tǒng)采用PID控制技術，高清觸摸屏顯示，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

Chiller高精度冷熱循環(huán)器PTS系列產(chǎn)品，可實現(xiàn)對設備出口溫度的精準控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應用于半導體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領域，激光、高端醫(yī)療和精密實驗室溫控方案。全系列采用全直流變頻壓縮機，磁力耦合泵，電子膨脹閥節(jié)流裝置，西門子控制器，壓縮機及主要制冷部件均采用國際知名品牌，產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成。控制系統(tǒng)采用PID控制技術，高清觸摸屏顯示，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

直冷型制冷機采用制冷劑直接蒸發(fā)，降溫方式為相變制冷，與液冷的溫差降溫相比，降溫速度快，能效高，設備無循環(huán)系統(tǒng)，外形尺寸更緊湊！