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DHF藥液精密溫控器

DHF 藥液精密溫控器是專門針對 DHF（Dilute Hydrofluoric Acid，稀氫氟酸）藥液設(shè)計(jì)研發(fā)的一種能夠?qū)崿F(xiàn)高精度溫度控制的設(shè)備。在半導(dǎo)體制造、微電子加工以及光伏產(chǎn)業(yè)等諸多對工藝精度要求極高的領(lǐng)域，DHF 藥液常用于蝕刻、清洗等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)，而這些工藝的效果對藥液溫度的細(xì)微變化極為敏感，所以該精密溫控器起著精準(zhǔn)調(diào)控 DHF 藥液溫度，保障相關(guān)工藝穩(wěn)定且高質(zhì)量進(jìn)行的關(guān)鍵作用。

應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造濕法工藝中使用的化學(xué)品的溫控（RCA 清潔，蝕刻，顯影劑）

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產(chǎn)品推薦

Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列產(chǎn)品，可實(shí)現(xiàn)對設(shè)備出口溫度的精準(zhǔn)控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、高端醫(yī)療和精密實(shí)驗(yàn)室溫控方案。主要部件均采用國際知名品牌，產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、板式換熱器、水箱、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過機(jī)組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

chiller高精度換熱溫控單元

Chiller高精度冷熱循環(huán)器PTS系列產(chǎn)品，可實(shí)現(xiàn)對設(shè)備出口溫度的精準(zhǔn)控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、高端醫(yī)療和精密實(shí)驗(yàn)室溫控方案。全系列采用全直流變頻壓縮機(jī)，磁力耦合泵，電子膨脹閥節(jié)流裝置，西門子控制器，壓縮機(jī)及主要制冷部件均采用國際知名品牌，產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成。控制系統(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過機(jī)組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。