產(chǎn)品介紹 | Chiller高精度冷熱循環(huán)器（PTS系列）

發(fā)布時(shí)間：2025年07月14日 　　　閱讀次數(shù)：71 次

精準(zhǔn)控溫，精度卓越
在當(dāng)今高科技制造業(yè)中，特別是在半導(dǎo)體行業(yè)的CVD/PVD、Etch和IMP等關(guān)鍵工序，對(duì)溫度的精確控制是保證產(chǎn)品質(zhì)量和工藝穩(wěn)定性的關(guān)鍵。Chiller高精度冷熱循環(huán)器PTS系列產(chǎn)品，以其優(yōu)秀的性能和精準(zhǔn)的溫度控制，成為半導(dǎo)體制程中溫度控制的理想選擇。
Chiller高精度冷熱循環(huán)器
PTS系列
控溫范圍
-30~90℃
控溫對(duì)象
產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、高端醫(yī)療和精密實(shí)驗(yàn)室溫控方案。
是否支持定制
支持定制。
工作原理圖
設(shè)備特點(diǎn)
1
變頻技術(shù)與節(jié)能
采用變頻技術(shù)，通過系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和自主控制算法，精準(zhǔn)調(diào)節(jié)壓縮機(jī)輸出頻率，滿足制程需求的同時(shí)實(shí)現(xiàn)最低能耗。
2
全密閉式系統(tǒng)
全密閉設(shè)計(jì)，無油霧、無異味，導(dǎo)熱液體使用壽命長(zhǎng)。
3
快速加熱與制冷
參與循環(huán)的導(dǎo)熱液體少，加熱和制冷速度快。獨(dú)立的制冷與加熱單元，精確控制溫度變化，熱慣性小，響應(yīng)速度快。
4
模塊化設(shè)計(jì)
結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，安裝方便，移動(dòng)便捷。
5
智能監(jiān)控與診斷
運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示，故障自動(dòng)診斷，具備多項(xiàng)報(bào)警保護(hù)功能。
6
控制重復(fù)性與穩(wěn)定性
基于高級(jí)動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，確保每次控制結(jié)果一致，提升生產(chǎn)穩(wěn)定性。
7
自適應(yīng)PID控制
自適應(yīng)PID算法，適應(yīng)不同環(huán)境和負(fù)載，無需調(diào)整參數(shù)，實(shí)現(xiàn)最佳溫度控制。
應(yīng)用場(chǎng)景
—END—
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