精準(zhǔn)控溫，定義新標(biāo)準(zhǔn)

Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列產(chǎn)品，以其卓越的控溫性能和穩(wěn)定性，成為半導(dǎo)體行業(yè)、激光技術(shù)、高端醫(yī)療和精密實驗室等領(lǐng)域的首選。

Chiller高精度換熱溫控單元

PHE系列

控溫范圍

5~110℃

產(chǎn)品介紹

Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列產(chǎn)品，可實現(xiàn)對設(shè)備出口溫度的精準(zhǔn)控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。主要部件均采用國際知名品牌，產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、板式換熱器、水箱、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成。控制系統(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項保護功能，確保設(shè)備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

控溫對象

產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、高端醫(yī)療和精密實驗室溫控方案。

是否支持定制

支持定制。

設(shè)備特點

1無壓縮機設(shè)計

系統(tǒng)無需壓縮機，利用公用工程冷卻水進行降溫與溫度控制。

2全密閉式系統(tǒng)

全密閉設(shè)計，無油霧、無異味，導(dǎo)熱液體使用壽命長。

3快速溫度調(diào)節(jié)

獨立的制冷與加熱單元，精確控制溫度變化，熱慣性小，響應(yīng)速度快，可實現(xiàn)快速降溫或升溫。

4模塊化設(shè)計

結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，安裝方便，移動便捷。

5智能監(jiān)控與診斷

運行狀態(tài)實時顯示，故障自動診斷，具備多項報警保護功能。

6控制重復(fù)性與穩(wěn)定性

基于高級動態(tài)控制系統(tǒng)，確保每次控制結(jié)果一致，提升生產(chǎn)穩(wěn)定性。

7自適應(yīng)PID控制

自適應(yīng)PID算法，適應(yīng)不同環(huán)境和負載，無需調(diào)整參數(shù)，實現(xiàn)最佳溫度控制。

應(yīng)用場景