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TCU Series 精密恒溫恒濕機(jī)

恒溫恒濕機(jī)在基板曝光前，能有效維持其表面溫度的均一性。經(jīng)過此設(shè)備處理后的空氣，溫度控制精度可達(dá)目標(biāo)值士0.01°℃，充分滿足制程環(huán)境對溫控的極致要求。該設(shè)備的應(yīng)用，不僅確保了產(chǎn)線環(huán)境的穩(wěn)定，更為產(chǎn)品的高良率提供了堅(jiān)實(shí)保障。在精密制造領(lǐng)域，恒溫恒濕機(jī)的這一卓越性能，無疑為生產(chǎn)流程的順暢與品質(zhì)的提升貢獻(xiàn)了不可或缺的力量。

主要用于面板廠、晶圓廠、封裝測試廠精密溫濕度控制

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參數(shù)看清楚

設(shè)備名稱

溫度控制精度
濕度控制精度
適用領(lǐng)域

恒溫恒濕機(jī)

±0.1℃~±0.01℃
±2%RH~±1%RH
主要用于面板廠、晶圓廠、封裝測試廠精密溫濕度控制

產(chǎn)品推薦

-135℃~+225℃,可以滿足不同溫度的需求，可非標(biāo)定制；可選配精確控溫形式，控溫精度最高可達(dá)±0.1℃; 采用高效換熱器，降溫速度快，常溫至-80℃最快只需5分鐘；可選配冷量回收裝置，提升能效，避免低溫冷凝水。可選配進(jìn)氣流量自動(dòng)控制與檢測

低溫冷氣機(jī)

主要用于半導(dǎo)體制程中對多路反應(yīng)腔室的精準(zhǔn)控溫，裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成，采用先進(jìn)的控制算法，提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應(yīng)速度。在帶負(fù)載的情況下控溫精度可達(dá)±0.5℃，可在-20℃~85℃之間任意控溫，有良好的溫度穩(wěn)定性。

半導(dǎo)體專用多通道溫控設(shè)備

應(yīng)用于元器件的特性分析、高低溫溫變測試、溫度沖擊測試、失效分析等可靠性試驗(yàn)，此類設(shè)備解決傳統(tǒng)高低溫箱無法滿足的局部測試要求,設(shè)備移動(dòng)方便、適合對眾多元器件的某個(gè)單個(gè)元器件或具有平坦表面且結(jié)構(gòu)扁平器件的高低溫測試。